4 總體設計

　　4.1 潔凈廠(chǎng)房位置選擇和總平面布置

　　4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調

　　4.3 人員凈化和物料凈化

　　4.4 噪聲控制

　　4.5 微振控制

　　4.1 潔凈廠(chǎng)房位置選擇和總平面布置

　　4.1.1 潔凈廠(chǎng)房位置選擇應符合下列規定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：

　　1 應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區域。

　　2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠(chǎng)、貯倉、堆場(chǎng)等有嚴重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區域。當不能遠離嚴重空氣污染源時(shí)，應位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側。

　　3 應布置在廠(chǎng)區內環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。

　　4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房的位置選擇，應實(shí)際測定周?chē)F有振源的振動(dòng)影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。

　　4.1.3 潔凈廠(chǎng)房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。

　　4.1.4 潔凈廠(chǎng)房周?chē)嗽O置環(huán)形消防車(chē)道，也可沿廠(chǎng)房的兩個(gè)長(cháng)邊設置消防車(chē)道。

　　4.1.5 潔凈廠(chǎng)房周?chē)牡缆访鎸討x用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

　　4.1.6 潔凈廠(chǎng)房周?chē)鷳M(jìn)行綠化?？射佒膊萜?，不應種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。

　　條文說(shuō)明

　　4.1 潔凈廠(chǎng)房位置選擇和總平面布置

　　4.1.1 潔凈廠(chǎng)房與其他工業(yè)廠(chǎng)房的區別在于潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊纳a(chǎn)工藝有空氣潔凈度要求。因此，設有潔凈廠(chǎng)房的工廠(chǎng)廠(chǎng)址宜選在大氣含塵濃度較低的地區，如農村、城市遠郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風(fēng)沙地區或有嚴重空氣污染的城市工業(yè)區。

　　根據國內外測試資料，農村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當于城市含塵濃度的幾分之一，甚至低一個(gè)數量級。而城市工業(yè)區的含塵濃度又遠高于城市市區及市郊。不同地區含塵濃度也不同，如表1～表3所示。不同季節的含塵濃度也不相同，表4所列是天津市某地段不同季節室外含塵濃度的實(shí)測值。

　　表1 大氣中含塵濃度

　　表2 天津地區的大氣含塵計重濃度

　　從表1、表2中可以看出，各地區、場(chǎng)所大氣環(huán)境質(zhì)量差別較大，若在環(huán)境質(zhì)量較差的地區建廠(chǎng)，設計中應采取有效的技術(shù)措施以確保潔凈廠(chǎng)房的技術(shù)要求。

　　表3 大氣含塵濃度平均值(大于或等于0.5μm)(pc/L)

　　表4 不同季節室外大氣含塵濃度的實(shí)測值

　　4.1.2 潔凈廠(chǎng)房?jì)犬敳贾糜芯茉O備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問(wèn)題，在廠(chǎng)址選擇或已建工廠(chǎng)內的潔凈廠(chǎng)房場(chǎng)地選擇過(guò)程中，需要對周?chē)裨吹恼駝?dòng)影響作出評價(jià)，以確定該廠(chǎng)址或場(chǎng)地是否適宜建設。

　　周?chē)裨磳茉O備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結果。這種疊加，目前還沒(méi)有系統的參考數據及實(shí)用的計算方法。因此，應立足于實(shí)測。過(guò)去有的工廠(chǎng)，由于建廠(chǎng)前沒(méi)有對周?chē)黝?lèi)振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現對精密設備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗帶來(lái)很大困難，這說(shuō)明實(shí)測振源振動(dòng)影響是非常必要的。

　　4.1.3 本條規定仍以規范編制組的科研成果報告《環(huán)境塵源影響范圍研究》為依據。根據上述報告，道路灰塵“嚴重污染區”位于道路下風(fēng)側50m范圍之內，100m以外為“輕污染區”。潔凈廠(chǎng)房最好離開(kāi)車(chē)輛頻繁的干道100m以外，但考慮到廠(chǎng)區總平面布置的可能性以及廠(chǎng)區圍墻或廠(chǎng)內路沿綠化的阻塵作用等因素，本條規定潔凈廠(chǎng)房與車(chē)輛頻繁的干道之間的距離宜大于50m。

　　在《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073-2001(以下簡(jiǎn)稱(chēng)原規范)實(shí)施中，各地區、各設計單位認為本條規定距離的界定不明確，且考慮到道路的污染物對潔凈廠(chǎng)房的影響主要是影響凈化空調系統新鮮空氣的質(zhì)量，而潔凈室(區)圍護結構氣密性較好的特點(diǎn)，本次修改為“新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m”。

　　4.1.6 綠化有良好的吸塵、阻塵作用。潔凈廠(chǎng)房周?chē)鷪?chǎng)地綠化應以種植草坪為主，小灌木為輔，不宜種植觀(guān)賞花卉及高大喬木。因為觀(guān)賞花多為季節性一年生植物，需經(jīng)常翻土、播種、移植，從而破壞植被，反而使塵土飛揚;而高大喬木樹(shù)冠覆蓋面積大，其下部難以形成植被，也易產(chǎn)生揚塵。

　　潔凈廠(chǎng)房外圍宜種植枝葉茂盛的常綠樹(shù)種。潔凈廠(chǎng)房周?chē)G化樹(shù)種應選用不產(chǎn)生花絮、絨毛、粉塵等對大氣有不良影響的樹(shù)種。

　　4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調

　　4.2.2 因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠(chǎng)房?jì)瘸Ｓ卸喾N氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線(xiàn)、凈化空調系統的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線(xiàn)交叉復雜。因此，在進(jìn)行管線(xiàn)綜合布置時(shí)，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀(guān)。

　　對國內已建成的潔凈廠(chǎng)房調研中，了解到為布置各種管道和高效過(guò)濾器等一般均設置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設計得過(guò)高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線(xiàn)布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進(jìn)行管線(xiàn)綜合布置設計和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟上合理。

　　通過(guò)原規范實(shí)施以來(lái)反饋的信息，雖然本條具有確保潔凈廠(chǎng)房安全可靠的作用，但主要還是影響產(chǎn)品質(zhì)量的提高、成品率高低和經(jīng)濟性問(wèn)題，因此本次修訂修改為推薦性條文。

　　4.2.3 隨著(zhù)各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)自動(dòng)化程度的提高和改進(jìn)，近年來(lái)潔凈廠(chǎng)房建設中大都采用大開(kāi)間，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。

　　潔凈廠(chǎng)房?jì)瘸紤]生產(chǎn)安全性需增設隔斷外，一般不設隔斷。由于本條第2款、第3款的內容只是為了有利于運行管理作出的規定，故本次修訂修改為推薦性條文。

　　條文說(shuō)明

　　4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調

　　4.2.2 因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠(chǎng)房?jì)瘸Ｓ卸喾N氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線(xiàn)、凈化空調系統的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線(xiàn)交叉復雜。因此，在進(jìn)行管線(xiàn)綜合布置時(shí)，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀(guān)。

　　對國內已建成的潔凈廠(chǎng)房調研中，了解到為布置各種管道和高效過(guò)濾器等一般均設置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設計得過(guò)高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線(xiàn)布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進(jìn)行管線(xiàn)綜合布置設計和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟上合理。

　　通過(guò)原規范實(shí)施以來(lái)反饋的信息，雖然本條具有確保潔凈廠(chǎng)房安全可靠的作用，但主要還是影響產(chǎn)品質(zhì)量的提高、成品率高低和經(jīng)濟性問(wèn)題，因此本次修訂修改為推薦性條文。

　　4.2.3 隨著(zhù)各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)自動(dòng)化程度的提高和改進(jìn)，近年來(lái)潔凈廠(chǎng)房建設中大都采用大開(kāi)間，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。

　　潔凈廠(chǎng)房?jì)瘸紤]生產(chǎn)安全性需增設隔斷外，一般不設隔斷。由于本條第2款、第3款的內容只是為了有利于運行管理作出的規定，故本次修訂修改為推薦性條文。

　　4.3 人員凈化和物料凈化

　　4.3.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)葢O置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據需要設置生活用室和其他用室。

　　4.3.2 人員凈化用室和生活用室的設置應符合下列規定：

　　1 應設置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。

　　2 廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據需要設置。

　　4.3.3 人員凈化用室和生活用室的設計應符合下列規定：

　　1 人員凈化用室的入口處應設凈鞋措施。

　　2 存外衣、更換潔凈工作服的房間應分別設置。

　　3 外衣存衣柜應按設計人數每人設一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內。

　　4 盥洗室應設洗手和烘干設施。

　　5 空氣吹淋室應設在潔凈區人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一臺。潔凈區工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側應設旁通門(mén)。

　　6 嚴于5級的垂直單向流潔凈室宜設氣閘室。

　　7 潔凈區內不得設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。

　　4.3.4 人流路線(xiàn)應符合下列規定：

　　1 人流路線(xiàn)應避免往復交叉。

　　2 人員凈化用室和生活用室的布置應按人員凈化程序(圖4.3.4)進(jìn)行布置。

　　圖4.3.4 人員凈化程序

　　4.3.5 根據不同的空氣潔凈度等級和工作人員數量，潔凈廠(chǎng)房?jì)热藛T凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定，并宜按潔凈區設計人數平均每人2m2～4m2計算。

　　4.3.6 潔凈工作服更衣室、洗滌室的空氣凈化要求宜根據產(chǎn)品工藝要求和相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級確定。

　　4.3.7 潔凈室內設備和物料出入口應根據設備和物料的性質(zhì)、形狀等特征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置應防止凈化后物料在傳遞過(guò)程中被污染。

　　條文說(shuō)明

　　4.3 人員凈化和物料凈化

　　4.3.1、4.3.2 人員與物料進(jìn)入潔凈室會(huì )把外部污染物帶入室內，特別是人員本身就是一個(gè)重要的污染源，不同衣著(zhù)、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵量見(jiàn)表5。從表5中數據可見(jiàn)，身著(zhù)普通服裝的人走動(dòng)時(shí)的產(chǎn)塵(大于或等于0.5μm)量可達近300×104pc/(min·人)。根據國外有關(guān)資料報道，潔凈室中的灰塵來(lái)源分析見(jiàn)表6，來(lái)源于人員因素的占35%。對潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見(jiàn)，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料的凈化是十分必要的。

　　存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服用室是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化用室的必要部分。生活用室應視車(chē)間所在地區的自然條件、車(chē)間規模及工藝特征等具體情況，根據實(shí)際需要設置。如車(chē)間規模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應設必要的休息室。

　　鑒于第4.3.1條、第4.3.2條僅為原則性通用規定，本次修訂修改為推薦性條文。

　　表5 不同衣著(zhù)、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵

　　表6 潔凈室內粒子來(lái)源分析

　　4.3.3 本條對人員凈化用室和生活用室的設計作出規定。

　　1 凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠(chǎng)房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。

　　為了保護人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋套?，F有潔凈廠(chǎng)房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠(chǎng)房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

　　2、3 外出服在家庭生活及戶(hù)外活動(dòng)中積有大量微塵和不潔物，服裝本身也會(huì )散發(fā)纖維屑，更衣室將外出服及隨身攜帶的其他 物品存放于專(zhuān)用的存外衣柜內?？紤]到國內潔凈廠(chǎng)房當前的管理方式和習慣，外出服一般由個(gè)人閉鎖使用，按在冊人數每人一柜計算是必要的;潔凈工作服柜一般也可按每人一柜設計，但也有集中將潔凈工作服存放于潔凈柜中的，置于潔凈柜中更為理想。為避免外出服污染潔凈工作服，為此本條明確規定存外衣、更換潔凈工作服的房間應分別設置。

　　4 手是交叉污染的媒介，人員在接觸工作服之前洗手十分必要。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內洗手。

　　洗凈的手不可用普通毛巾擦抹，因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵，最好的辦法是熱風(fēng)吹干，電熱自動(dòng)烘手器就是一種較好的選擇。

　　由于人員凈化的凈鞋措施、存外衣和更換潔凈工作服房間的分隔以及洗手設施的設置，均為了減少甚至消除潔凈室工作人員帶入的污染物對產(chǎn)品質(zhì)量的影響，所以本次修訂將本條第1款、第2款、第4款改為推薦性條文。

　　5 工業(yè)潔凈室設置空氣吹淋室的理由是：

　　1) 在一定風(fēng)速、一定吹淋時(shí)間的條件下，空氣吹淋室對清除人員身上的灰塵有明顯效果。

　　本規范編制組進(jìn)行了“吹淋室效果的測定”的科研項目，對于經(jīng)吹淋與不經(jīng)吹淋兩種情況的人員散塵量作了大量的測試對比。結果表明，吹淋室的吹淋效果，對大于或等于0.5μm的塵粒約為10%～30%，對大于或等于5μm的塵粒約為15%～35%。

　　2) 吹淋室具有氣閘的作用，能防止外部空氣進(jìn)入潔凈室，并使潔凈室維持正壓狀態(tài)。

　　3) 吹淋室除了有一定凈化效果外，它作為人員進(jìn)入潔凈區的一個(gè)分界，還具有警示性的心理作用，有利于規范潔凈室人員在潔凈室內的活動(dòng)。

　　4) 國內潔凈廠(chǎng)房的現狀是：在統計的38個(gè)潔凈廠(chǎng)房中，約80%設有空氣吹淋室。

　　關(guān)于吹淋室的使用人數，主要取決于每人吹淋所需時(shí)間和上班前人員凈化的總時(shí)間。參考計算方法：假定潔凈室自?xún)魰r(shí)間為30min，換鞋、更衣占去10min，上班人員總吹淋時(shí)間為20min。設每人吹淋30s，另加準備時(shí)間10s，則一臺單人吹淋室可供30人使用。

　　當最大班使用人數超過(guò)30人時(shí)，可將兩臺或多臺單人吹淋室并聯(lián)布置。

　　垂直單向流潔凈室由于自?xún)裟芰?，無(wú)紊流影響，人員產(chǎn)塵能迅速被回風(fēng)帶走而不致污染產(chǎn)品，鑒于這種有利條件，也可不設吹淋室而改設氣閘室。

　　吹淋室旁設通道，可使下班人員和衛生清掃或檢修人員的進(jìn)出不必通過(guò)吹淋室，起到保護吹淋設備的作用，同時(shí)也方便檢修期間設備、工具等進(jìn)出。

　　潔凈室(區)是否設置空氣吹淋室，各潔凈廠(chǎng)房做法不一，但在原規范中規定：“空氣吹淋室應設在潔凈區人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰?！币驗楸究钭鳛閺娭菩詶l款，在實(shí)施過(guò)程中，一些單位以為“所有潔凈室均應設置空氣吹淋室”。實(shí)際上本款規定并不是要求所有潔凈室均應設置空氣吹淋室，只是要求當需設置空氣吹淋室時(shí)，應如何設置。為此，本次修訂將本款改為推薦性條款。

　　7 潔凈區內設置廁所不僅容易使潔凈室受到污染，還會(huì )影響潔凈區的壓力控制。原規范規定潔凈區內不宜設廁所，為了強調潔凈區內不得設廁所的要求，本次修訂將“不宜”改為“不得”，但該款條文仍為推薦性。人員凈化用室內的廁所應設在盥洗室之前，廁所設前室作為緩沖，前室還應放置供人員入廁穿用的套鞋。

　　4.3.4 人員凈化應當循序漸進(jìn)，有一個(gè)合理的程序，在凈化過(guò)程中，避免已清潔部分被臟的部分所污染。根據目前國內潔凈廠(chǎng)房常用的人員凈化程序，本規范提出了一次更衣(盥洗前存外衣)、一次吹淋的人員凈化程序。由于本條第1款只是對潔凈廠(chǎng)房中人流路線(xiàn)的原則性規定，本次修訂改為推薦性條文。

　　4.3.5、4.3.6 關(guān)于人員凈化用室建筑面積控制指標，主要參考了有關(guān)資料提出的面積指標和部分潔凈廠(chǎng)房實(shí)際采用的指標，并進(jìn)行統計后得出的。人員較多時(shí)，面積指標采用下限;人員較少時(shí)，面積指標采用上限。

　　近年來(lái)，國內設計、建造的潔凈廠(chǎng)房，一般是根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠(chǎng)房的布局情況按相鄰潔凈室(區)的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠(chǎng)房雖然沒(méi)有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內采用高效空氣過(guò)濾送風(fēng)系統，或將潔凈室內的凈化空氣部分地引入更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時(shí)對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區1級～2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內容的規定合并在一條內：“宜根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級確定”。不再規定具體的“等級”或“等級范圍”。

　　4.3.7 鑒于本條有關(guān)物料凈化的規定主要涉及影響空氣潔凈度或產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的可能被污染，且在原規范實(shí)施過(guò)程中一些行業(yè)的潔凈廠(chǎng)房設計、建造中執行本條規定難度較大，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　4.4 噪聲控制

　　4.4.1 潔凈室內的空態(tài)噪聲級，非單向流潔凈室不應大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應大于65dB(A)。

　　4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制應采用倍頻程聲壓級，空態(tài)噪聲頻譜的限制值不宜大于表4.4.2中的規定。

　　表4.4.2 空態(tài)噪聲頻譜的限制值

　　4.4.3 潔凈廠(chǎng)房的平面和空間設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應有良好的隔聲性能，并宜使其各部分隔聲量相接近。

　　4.4.4 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設備，宜設置專(zhuān)用隔聲或消聲設施。

　　4.4.5 凈化空調系統噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外，潔凈室內的排風(fēng)系統應進(jìn)行減噪設計。

　　4.4.6 根據室內容許噪聲級要求，凈化空調系統風(fēng)管內風(fēng)速宜符合下列規定：

　　1 總風(fēng)管風(fēng)速宜為6m/s～10m/s。

　　2 無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為4m/s～6m/s。

　　3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為2m/s～5m/s。

　　條文說(shuō)明

　　4.4 噪聲控制

　　4.4.1 潔凈室的噪聲一般不算高，但數據差額較大，相差近10dB(A)。國內關(guān)于噪聲對健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語(yǔ)言通訊干擾和對工作效率的影響。

　　國外潔凈室噪聲標準的研究工作開(kāi)始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準《潔凈室環(huán)境控制要求》209a和1974年修訂的209b規定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話(huà)，滿(mǎn)足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。

　　在《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設計、施工和啟動(dòng)》IS0 14644-4-2001標準中規定：“應依據潔凈室內人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其他設備)的背景聲壓級來(lái)選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40～65dB(A)”。

　　從收集的國內外潔凈室噪聲標準來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)～70dB(A)范圍，醫療行業(yè)則更低?，F行的大多數標準均以A聲壓級作為評價(jià)指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個(gè)統一的容許值。

　　根據“潔凈廠(chǎng)房噪聲評價(jià)與標準的研究”所得到的成果，我國59個(gè)潔凈廠(chǎng)房平均噪聲級的分布，電子工業(yè)216個(gè)潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級下各種效應的主觀(guān)評價(jià)指標如圖1所示：

　　由圖1可見(jiàn)，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率低于30%，對集中精神感到有較高影響的百分率不到10%，而對工作速度、動(dòng)作準確性的影響則可忽略，從主觀(guān)評價(jià)調查看，語(yǔ)言通訊干擾可以屬于輕微的等級。如按這一限值來(lái)衡量現有潔凈室的噪聲，則有75%超過(guò)標準，就電子工業(yè)而言，也有47%的潔凈室超過(guò)標準。

　　近年來(lái)，我國的潔凈室環(huán)境技術(shù)有了一定的發(fā)展，但對噪聲的控制技術(shù)還相對滯后，從1996-1997年對國內部分行業(yè)的部分潔凈室進(jìn)行的調研結果來(lái)看，還有相當一部分的潔凈室噪聲在65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35%的潔凈室超過(guò)標準。

　　圖1 潔凈廠(chǎng)房噪聲分布與評價(jià)圖

　　1-59個(gè)潔凈廠(chǎng)房超過(guò)某一聲級的百分率;

　　2-電子工業(yè)216個(gè)潔凈室超過(guò)某一聲級的百分率;

　　3-高煩惱率,4-準確性高影響率;5-工作速度高影響率;

　　6-集中精神高影響率;7-交談及電話(huà)通訊高干擾率

　　同樣由圖1得知，若以70dB(A)為噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率將達到39%，對于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4%，對工作速度和動(dòng)作準確性影響仍不顯著(zhù)，對語(yǔ)言通訊的干擾則屬于較高的等級。如按70dB(A)的限值來(lái)衡量現有潔凈廠(chǎng)房的噪聲，則多數可以滿(mǎn)足標準。

　　目前國內的相當一部分潔凈室的隔墻使用的是進(jìn)口或國產(chǎn)的金屬壁板，由于壁板的隔聲量存在著(zhù)某些薄弱環(huán)節而造成隔聲不理想，且室內的噪聲仍過(guò)高。如上海某公司使用的是進(jìn)口壁板，其室內噪聲平均值達69dB(A);上海某公司使用的也是進(jìn)口壁板光刻間，測得其室內平均噪聲值為70dB(A)，其他一些潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也偏高，也就是說(shuō)，從噪聲的效應來(lái)看，標準低于65dB(A)為好。

　　對國內幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在41dB(A)～64dB(A)范圍內，平均為54dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在51dB(A)～75dB(A)范圍內，平均為65dB(A)。非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。

　　由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件，本條為強制性條文。

　　4.4.3～4.4.6 控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時(shí)應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟上的原因而難以做到時(shí)，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。

　　國內現有潔凈廠(chǎng)房中，不少潔凈室將機械泵一類(lèi)高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。

　　潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調系統和局部?jì)艋O備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調系統的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態(tài)噪聲。

　　關(guān)于降低潔凈室凈化空調系統噪聲的措施，國內外有關(guān)資料提出了一些有效的措施：

　　如《現代潔凈室概念》一文中強調“選擇那種能滿(mǎn)足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應該采用彈性減振基礎”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內降低噪聲是有效的，當風(fēng)管敷設長(cháng)度在50ft以?xún)葧r(shí)，就應考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中又說(shuō)：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道等加上襯里”。如北京某大學(xué)微電子研究所回風(fēng)管道在未處理前噪聲高達83.5dB(A)，經(jīng)過(guò)加設襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A)，使光刻間的室內環(huán)境噪聲平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可見(jiàn)，只要對風(fēng)道系統采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度降低。

　　國內還有不少潔凈室，由于系統設計合理，并采取了降噪措施，室內噪聲得到有效控制。

　　排風(fēng)系統噪聲對潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需設排風(fēng)系統。近年來(lái)，潔凈廠(chǎng)房排風(fēng)系統的噪聲治理日益受到重視，要注意選用低噪聲風(fēng)機等。

　　由于潔凈室內的工作環(huán)境要求比較安靜，潔凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規定限制風(fēng)管風(fēng)速，既減小了凈化空調系統的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉速，減弱了風(fēng)機的噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生附加噪聲。

　　如上所述，第4.4.3條～第4.4.6條的規定均為潔凈廠(chǎng)房設計中，從平面和空間設計到各類(lèi)設備、系統及其附屬設備等的選擇都應充分考慮噪聲控制措施，以確保達到潔凈廠(chǎng)房要求的噪聲控制值。原規范中將第4.4.3條、第4.4.4條規定為強制性條文，但在實(shí)施中各單位認為規定過(guò)嚴，可操作性也不強，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　4.5 微振控制

　　4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房設計應符合下列規定：

　　1 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應按微振控制要求設計。

　　2 潔凈室與周?chē)o助性站房?jì)扔袕娏艺駝?dòng)的設備及連接管道應采取主動(dòng)隔振措施。

　　3 應測定潔凈廠(chǎng)房?jì)?、外各?lèi)振源對潔凈廠(chǎng)房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

　　4.5.2 精密設備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應由生產(chǎn)工藝和設備制造部門(mén)提供。當生產(chǎn)工藝和設備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí)，可按現行國家標準《隔振設計規范》GB 50463的有關(guān)規定執行。

　　4.5.3 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設計應具備下列條件：

　　1 周?chē)裨磳ζ渚C合影響的振動(dòng)數據。

　　2 設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖。

　　3 設備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

　　4 設備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預埋件位置等。

　　5 設備、儀器儀表的調平要求。

　　6 設備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。

　　7 所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數、外形尺寸及安裝條件。

　　4.5.4 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設計應符合下列規定：

　　1 隔振臺座應具有足夠的剛度。

　　2 隔振臺座應采取傾斜校正措施。

　　3 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15。

　　4 隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。

　　4.5.5 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進(jìn)行凈化處理。

　　條文說(shuō)明

　　4.5 微振控制

　　4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房，設計應考慮建筑結構的選型及地面(樓面)的構造做法，如增加基礎及上部結構垂直及橫向剛度，增加地面(樓面)剛度，能有效減小振動(dòng)影響。此外，還應考慮隔振縫設置及其有效的構造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動(dòng)傳遞。即減小了對精密設備、儀器儀表的振動(dòng)影響。

　　在潔凈廠(chǎng)房設計中，應首先考慮對強振源采取隔振措施，以減小強振源對精密設備、儀器儀表的振動(dòng)影響，在此基礎上，精密設備、儀器儀表再根據各自的容許振動(dòng)值采取被動(dòng)隔振措施，就大致能夠達到預定目的。

　　在原規范中，本條為強制性條文，雖然明確規定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房，但由于沒(méi)有量化的規定，容易引起執行不準確的問(wèn)題，實(shí)施以來(lái)確有此種情況發(fā)生，為此本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　4.5.4 精密設備、儀器儀表的被動(dòng)隔振措施，由隔振臺座及隔振器(或隔振裝置)組成。根據隔振設計計算需要，設定隔振臺座為不變形剛體，為此應對隔振臺座的形狀、幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。

　　某些精密設備、儀器儀表在運行時(shí)，由于移動(dòng)部件位置變化或加工、測試件的質(zhì)量及質(zhì)心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發(fā)生傾斜，導致精密設備、儀器儀表難以正常工作。為此，應設置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設備、儀器儀表的正常運行。

　　隔振系統阻尼過(guò)小，會(huì )產(chǎn)生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾(如對隔振臺座的沖擊、室內氣流的擾動(dòng)影響等)，造成隔振臺座晃動(dòng)，這種振動(dòng)值有時(shí)會(huì )大于精密設備、儀器儀表的容許振動(dòng)值，影響其正常運行。為此應增大隔振系統阻尼值，才能減小此類(lèi)振動(dòng)。通過(guò)多項工程實(shí)踐表明，隔振系統阻尼比不小于0.15是比較恰當的。

　　4.5.5 空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統具有很低的固有振動(dòng)頻率，同時(shí)它具有可調節阻尼值的特性，隔振系統可獲得需要的阻尼，因此，隔振系統具有良好的隔振效果。當配用高精度控制閥時(shí)，可自動(dòng)校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設備、儀器儀表的隔振元件。

　　用于被動(dòng)隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時(shí)會(huì )排出氣體(如壓縮空氣、氮氣等)，因此對氣源應進(jìn)行凈化處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級，才能保證排出的氣體不致對潔凈室造成污染。