2 術(shù)語(yǔ)

　　2.0.1 潔凈室 clean room

　　空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內其他有關(guān)參數如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

　　2.0.2 潔凈區 clean zone

　　空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內其他有關(guān)參數如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區可以是開(kāi)放式或封閉式。

　　2.0.3 移動(dòng)式潔凈小室 mobile clean booth

　　可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類(lèi)。

　　2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body

　　人員在進(jìn)入潔凈區之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material

　　物料在進(jìn)入潔凈區之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.6 粒徑 particle size

　　給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。

　　2.0.7 懸浮粒子 airborne particle

　　用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。

　　2.0.8 超微粒子 ultrafine particle

　　具有當量直徑小于0.1μm的粒子。

　　2.0.9 微粒子 microparticle

　　具有當量直徑大于5μm的粒子。

　　2.0.10 粒徑分布 particle size distribution

　　粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。

　　2.0.11 含塵濃度 particle concentration

　　單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

　　2.0.12 潔凈度 cleanliness

　　以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來(lái)區分的潔凈程度。

　　2.0.13 氣流流型 air flow pattern

　　對室內空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設計。

　　2.0.14 單向流 unidirectional airflow

　　通過(guò)潔凈室(區)整個(gè)斷面的風(fēng)速穩定、大致平行的受控氣流。

　　2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow

　　與水平面垂直的單向流。

　　2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow

　　與水平面平行的單向流。

　　2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow

　　送入潔凈室(區)的送風(fēng)以誘導方式與室(區)內空氣混合的氣流分布類(lèi)型。

　　2.0.18 混合流 mixed airflow

　　單向流和非單向流組合的氣流。

　　2.0.19 潔凈工作區 clean working area

　　除工藝特殊要求外，指潔凈室內離地面高度0.8m～1.5m的區域。

　　2.0.20 空氣吹淋室 air shower

　　利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著(zhù)粒子的小室。

　　2.0.21 氣閘室 air lock

　　設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

　　2.0.22 傳遞窗 pass box

　　在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時(shí)開(kāi)啟的窗扇。

　　2.0.23 潔凈工作臺 clean bench

　　能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。

　　2.0.24 潔凈工作服 clean working garment

　　為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

　　2.0.25 空態(tài) as-built

　　設施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設施區接通并運行，但無(wú)生產(chǎn)設備、材料及人員的狀態(tài)。

　　2.0.26 靜態(tài) at-rest

　　設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

　　2.0.27 動(dòng)態(tài) operational

　　設施以規定的方式運行，有規定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。

　　2.0.28 已裝過(guò)濾器檢漏 installed filter system leakage test

　　為確認過(guò)濾器安裝良好、沒(méi)有向潔凈室(區)的旁路滲漏，過(guò)濾器及其框架均無(wú)缺陷和滲漏所做的檢測。

　　2.0.29 高效空氣過(guò)濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)

　　在額定風(fēng)量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.30 超高效空氣過(guò)濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)

　　在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.31 純水 purity water

　　對電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。

　　2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment

　　能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。

　　2.0.33 表面電阻 surface resistance

　　在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩態(tài)電流之商。

　　2.0.34 體積電阻 volume resistance

　　在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。

　　2.0.35 表面電阻率 surface resistivity

　　在材料表面層的直流電場(chǎng)強度與穩態(tài)電流線(xiàn)密度之商。

　　2.0.36 體積電阻率 volume resistivity

　　在材料內層的直流電場(chǎng)強度與穩態(tài)電流密度之商。

　　2.0.37 專(zhuān)用消防口 fire-fight access

　　消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專(zhuān)用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。

　　2.0.38 自?xún)魰r(shí)間 recovery time of cleanliness

　　潔凈室被污染后，凈化空調系統開(kāi)始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級所需的時(shí)間。

　　2.0.39 生物潔凈室 biological clean room

　　潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。

　　2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria

　　懸浮在空氣中的帶菌微粒。

　　2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria

　　降落在培養皿上的帶菌微粒。

　　2.0.42 U描述符 U descriptor

　　每立方米空氣中包括超微粒子的實(shí)測或規定濃度。U描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時(shí)引述，也可以單獨引述。

　　2.0.43 M描述符 M descriptor

　　每立方米空氣中實(shí)測的或規定的微粒子。M描述符不能規定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時(shí)引述，也可以單獨引述。

　　2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe

　　潔凈廠(chǎng)房?jì)?，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統稱(chēng)為工業(yè)管道。