附錄G 潔凈室氣密性檢測方法

　　G.1 原 理

　　G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿(mǎn)足檢驗要求，但條件允許時(shí)，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

　　G.1.2 可按以下方法進(jìn)行檢測：

　　1 壓力衰減法

　　使室內達到某一壓力(正壓或負壓)，關(guān)閉加壓或抽負壓系統，觀(guān)察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。

　　2 恒壓法

　　使室內達到某一正壓，同時(shí)向室內補氣，使室壓達到要求的穩定值而不下降時(shí)的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，使室壓維持要求的穩定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。

　　G.2 壓力衰減法

　　G.2.1 測試系統如圖G.2.1所示。

　　G.2.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測

　　1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄壓力衰減測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門(mén)，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。

　　3 開(kāi)啟送風(fēng)，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa)，壓力穩定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門(mén)。

　　4 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門(mén)，如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴，應在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開(kāi)啟排風(fēng)，使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風(fēng)，關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門(mén)。

　　5 從停上送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數據，每1min記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時(shí)止。

　　6 測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。

　　7 如果需要進(jìn)行重復測試，20min后進(jìn)行。

　　8 當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。

　　G.2.3 檢測報告應包括以下內容：

　　1 檢測條件，包括室內溫度等。

　　2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;所測潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化;檢測持續的時(shí)間。

　　3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時(shí)的時(shí)間內壓力衰減率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價(jià)。

　　G.3 恒 壓 法

　　G.3.1 測試系統如圖G.3.1所示。

　　G.3.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測：

　　1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的閥門(mén)，如果風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴，應在回風(fēng)口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加肓板的方法封住風(fēng)口。

　　3 開(kāi)啟送風(fēng)，使室內壓力上升至500Pa，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門(mén)。

　　通過(guò)圍護結構上的孔洞和導管，由送風(fēng)機或空氣壓縮機向室內補氣，通過(guò)調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量，以維持潔凈室內的壓力穩定不下降，每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續的時(shí)間宜不超過(guò)5min，取平均值。

　　4 反之關(guān)閉送風(fēng)閥，開(kāi)啟排風(fēng)，當室內壓力下降至-500Pa時(shí)關(guān)閉排風(fēng)，開(kāi)啟真空泵保持室內壓力，記錄真空泵抽氣量，此數即漏泄量。

　　5 測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。

　　6 如果需要進(jìn)行重復測試，20min后進(jìn)行。

　　7 當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。

　　G.3.3 檢測報告應包括以下內容：

　　1 檢測條件，包括室內溫度等。

　　2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;室內溫度的動(dòng)態(tài)變化;漏泄量的動(dòng)態(tài)變化。

　　3 檢測結果包括所測潔凈室5min內的每小時(shí)漏泄率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價(jià)。

　　G.4 安全要求

　　G.4.1 應制定防范預案。

　　G.4.2 必須對被檢驗室內的溫度進(jìn)行監測。

　　G.4.3 恒壓法測試持續時(shí)間不宜太長(cháng)。